MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）压力传感器依据其据其工作原理和设计结构可以分为几种不同的类型，主要包括：

1、压阻式压力传感器

这是常见的MEMS压力传感器类型，其核心是基于压阻效应。在硅膜片上，通过扩散或沉积形成压阻元件。当压力作用于硅膜片时，其厚度和应力分布发生变化，导致压阻元件的电阻值也随之变化。通过精密的电路（如惠斯顿电桥）将电阻变化转换为电压变化，从而实现压力的测量。

2、电容式压力传感器

电容式MEMS压力传感器的工作原理基于电容的变化。这类传感器通常包含一个固定的电极和一个可移动的电极，两者之间形成电容。当外部压力作用于可移动电极时，两电极间的距离发生变化，从而导致电容值的改变。电容变化的量与压力成比例，因此可以通过测量电容变化来确定压力大小。

3、谐振式压力传感器

谐振式传感器利用微机械结构的固有频率变化来检测压力。在压力作用下，微结构的固有频率会发生改变，通过检测这一频率变化，可以推算出压力的大小。这种类型的传感器往往具有较高的精度和稳定性。

4、压电式压力传感器

压电材料在受到压力时会产生电荷，而压电式压力传感器正是利用这一物理现象。当压力施加在压电材料上时，产生的电荷量与压力成正比，通过测量电荷量即可得到压力值。这类传感器响应速度快，适合动态压力测量。

5、磁致伸缩式压力传感器

利用某些材料在磁场中产生长度变化的特性，磁致伸缩式压力传感器可以将压力转换为磁致伸缩材料的长度变化，再通过感应线圈检测这一变化，实现压力测量。

6、热电式压力传感器

这类传感器通过检测因压力引起的温度变化来间接测量压力。虽然不如上述几种类型常见，但在特定条件下仍有一定的应用价值。

7、光学式压力传感器

利用光的干涉、衍射或折射等光学现象，光学式压力传感器可以将压力变化转化为光信号的变化，通过光学检测装置进行测量。

MEMS压力传感器类型众多，不同类型的压力传感器各有千秋，选择合适的传感器类型取决于具体的应用需求，如所需的压力范围、精度要求、工作环境条件等。‍